氦檢漏儀又稱質(zhì)譜檢漏儀，是用來確定和測量進(jìn)入系統(tǒng)或容納設(shè)備的泄漏量。通過與檢漏儀連接的試驗(yàn)部件將氦氣注入。一個(gè)氦氣經(jīng)過測試后進(jìn)入系統(tǒng)，然后測量這個(gè)壓力，然后在儀器上顯示出結(jié)果。
氦檢漏儀包括下列部分：
1.用來檢測氦質(zhì)量的分光計(jì)。
2.用來保持分光計(jì)壓力的真空系統(tǒng)。
3.機(jī)械泵抽取待測零件。
4.對各種檢測階段的閥門提供支持：抽真空、試驗(yàn)和排放。
5.放大器和讀出儀表，用來監(jiān)測輸出信號。
6.動力與控制。
7.要測試的部件與探測器的夾具相連。
氦檢漏儀器氣密性測試儀是根據(jù)差壓的變化，測得工件的具體泄漏量，判斷被測工件是否合格，并將這些信息傳遞給運(yùn)行人員。由于標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品與被測工件形狀，大小相同，且在檢測過程中，兩端的外部環(huán)境條件完全相同，因此此試驗(yàn)方法可消除溫度、振動等環(huán)境因素的影響，獲得較高精度的測量結(jié)果。
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